據(jù)中欣晶圓發(fā)布，F(xiàn)errotec（中國）旗下安徽富樂德長江半導(dǎo)體材料股份有限公司投資建設(shè)年產(chǎn) 240 萬枚半導(dǎo)體晶圓再生項目，項目計劃總投資 10 億元，占地 75 畝，新建廠房 56774.38 平方米。
據(jù)悉，該項目購置國內(nèi)外先進設(shè)備數(shù)百臺套（關(guān)鍵工序采用進口設(shè)備及專用設(shè)備），建設(shè)周期 15 個月，項目建成后將形成年產(chǎn) 240 萬枚 300mm 半導(dǎo)體晶圓精密再生的生產(chǎn)線，可達世界先進水平。
IT之家獲悉，官方介紹，安徽富樂德長江半導(dǎo)體材料股份有限公司由日本 FerroTec 株式會社（日本磁性流體技術(shù)控股有限公司）在中國的全資子公司上海申和熱磁電子有限公司于 2019 年在銅陵發(fā)起創(chuàng)立。日本 FerroTec 株式會社（日本磁性流體技術(shù)控股有限公司）于 1992 年正式進軍中國市場。FerroTec（中國）現(xiàn)已成長為集產(chǎn)品研發(fā)、制造、銷售于一體的多元化企業(yè)集團。旗下管理的 20 余家公司與制造基地遍布中國各地，為國內(nèi)外客戶提供具有世界先進水平的材料、器件、裝備和系統(tǒng)解決方案。
項目具有國內(nèi)配備最完善的再生晶圓生產(chǎn)線，也是國內(nèi)首家專業(yè)從事 300mm 大尺寸硅片晶圓再生的專業(yè)廠商，填補國內(nèi)該領(lǐng)域空白。本項目的建設(shè)，將促使國內(nèi)晶圓廠擺脫長期主要依賴進口的窘境，使其在國內(nèi)即可實現(xiàn)高水平的大尺寸晶圓再生。
采用國際一流的 300mm 晶圓用全自動精密 CMP 研磨機，研磨加工實現(xiàn)全程自動化，厚度損失少；設(shè)備內(nèi)部利用 HEPA(High Efficiency Particulate Air)過濾裝置，保持高潔凈度；另外量測設(shè)備采用美國 KLA-Tencor SP5 顆粒檢測儀 , 具有 DUV 靈敏度和高吞吐量的無圖案晶圓表面檢測系統(tǒng)，加工與量測設(shè)備均處于國際行業(yè)領(lǐng)先水平。
項目建設(shè)過程中，依托 FerroTec（中國）成熟的半導(dǎo)體晶圓技術(shù)人才團隊為基礎(chǔ)，外籍專家團隊直接參與設(shè)備采購、安裝與調(diào)試，國內(nèi)外知名廠商參與設(shè)備搬運與二次配工程，每一環(huán)節(jié)均有高品質(zhì)掌控。
轉(zhuǎn)自：IT之家